第724章 来吧，展示！遥遥领先！ （1 / 2）

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传统的接触式光刻机，向来只有一个硅片载物台，掩模版的对准与压合全凭手稳，“差一丝，废一片”的说法，正是这种精密操作残酷性的真实写照。

江夏前期设计的时候，可没有翁师傅这种“鬼手”大师来个毛遂自荐。

为了突破接触式光刻的精度瓶颈，江夏在设计时，搞了个双平台骚操作！

一个是硅片载物台，用于承载和固定涂有光刻胶的硅片。专门驮着涂了光刻胶的硅片。要求贼变态，得能在X、Y、Z三个方向玩纳米级漂移还得保证绝对水平！

为了满足，镜面仙人可是费了不少的功夫在这上面，差点把头发都磨秃咯。

想要达到效果，原本江夏还准备在平台四角安装上四个螺旋测微头，这样操作员可以像调整机床夹具一样，通过旋转这四个微调旋钮，对掩模版进行微米级的平面度矫正和微小角度补偿，以对抗其自身形变或安装误差。

精度不够，手动来凑！

另一个是掩模版载物台，用于承载和固定光掩模板。这个可就厉害了，它可以在X、Y、θ方向进行精密微调，并且具备Z向的精密升降和压力控制功能！

同样的，为了达成这些功能，江夏设计了一个带有精密丝杠和重型弹簧缓冲的机构。操作员通过一个带有游标刻度的大手轮进行粗升降，接近掩模版时，则切换到一个连接着高精度千分表的微调手轮！通过观察千分表的指针读数，可以极其精确地控制硅片上升的距离。

同时，平台下方安装了一组经过标定的压力弹簧片，当硅片接触到掩模版时，弹簧片的微小形变会通过一个杠杆放大机构，在另一个表盘上显示出接触压力的大小！

操作员根据表盘读数，配合千分表，手动将压力调整到预设的安全值。下平台内部还预埋了热电偶，连接到一个老式的指针式温度表，用于监测硅片温度。

最后，再加上一个高倍率双筒显微镜系统，这样，光刻机测雏形就出现了！

厉害吧！

这还不算完！

小呆毛的终极梦想是——全自动光刻！

让俩平台像跳双人舞一样，自己对准，自己压合，彻底取代人手！

靠啥？

靠精密伺服电机当肌肉，光栅尺当眼睛实时反馈位置，再配上大黄分身跑的控制算法（PID啥的），闭环控制，完美！

但是……

嗯，是的，凡事都怕但是。

理想丰满，现实很骨感！

小呆毛画饼的时候就知道，这玩意儿搁现在，纯属做梦！

符合要求的超精密伺服电机？没有！

高分辨率的光栅尺反馈系统？更没有！

让“大黄分身”流畅跑动那套复杂的协同控制算法？呃，这个算是有吧……

虽然在写作701局，读作精神病院里某个技能树全点到编程上的“小胖墩”全力以赴下，相关程序还真写了出来。但“大黄”跑起来卡成PPT！

天知道对不对！

要不是有翁师傅出现，现在科学院的研究员们可能还在死磕编码器与驱动器组成的伺服系统，期待着它能实现 “指令 - 反馈 - 修正” 的闭环控制流程。

因为，江夏为两个平台达到参数要求设计的一系列补偿措施，实际操作起来真的太难了！

四个螺旋测微头+千分表+压力表+显微镜……这特么是人干的活？手抖一下，硅片报废！精神压力堪比拆弹！

在两个平板做出来的调试前期，科学院就开始组织人手尝试着操作这个东西，一个人不行，我上两个人可否？

答案当然是否！

最后得出的结论是：只有传说中长了八个胳膊的十级工才能流畅操作。手、眼、脑、抗压能力缺一不可！稍有不慎，满盘皆输！

有十级工吗？

都说了是传说中的，怎么可能有……虽然后世事业单位专业技术岗位倒是真有这么个称呼。

方案是不能变的。因为这套方案出自那个画完饼就跑的家伙，虽然那家伙有些顾头不顾尾，但大佬们审来审去，发现目前还真就这个比较靠谱。

好在运道点满的江夏居然从劳改对象里面把翁师傅扒拉了出来。